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可普遍办事于硅片出产、晶工、先辈封拆及封拆
人平易近财讯10月5日电，产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。于2023年成立了沈阳新松半导体设备无限公司（简称“新松半导体公司”），新松半导体公司打制了具有完全自从学问产权的从动化焦点系列产物，机能对标国外先辈产物，为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。（4）零部件方面，目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。
